美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導(dǎo)體零部件的供應(yīng)商，在氣體、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨(dú)到之處，美國萬機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中。
MKS流量計(jì)是以單位時(shí)間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計(jì)、MKS流量控制閥、MKS流量計(jì)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮?dú)?，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。
型號為：
質(zhì)量流量計(jì) GE50A013204SBN020
質(zhì)量流量計(jì) GE50A013204SBN020
流量計(jì) GE50A013504SMV020升級M100B01334CS1BV 50000
流量計(jì) GE50A013304SMV020升級M100B01334CS1BV 30000
顯示器 660B40
流量計(jì) GE50A013504SMV020升級M100B01334CS1BV 50000
流量計(jì) GE50A013304SMV020升級M100B01334CS1BV 30000
離子測量儀 979B-01-0013
真空計(jì) 103170027SH
真空計(jì) 901P-11030
流量控制器 148JA13CR1M
流量控制器 148JA13CR1M
壓力表 41B11DCD2AA005
真空計(jì) 901P-11030
真空計(jì) 901P-11030
