| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | AMAT | 型號(hào) | AMAT應(yīng)用材料 |
| 報(bào)警方式 | 1 | 尺寸 | 1 |
| 電源電壓 | 1 | 工作溫度 | 1 |
| 類型 | 1 | 重量 | 1 |
| 檢測(cè)系統(tǒng) | 1 | 加工定制 | 否 |
| 材質(zhì) | 鋁合金 | 材質(zhì) | |
| 適用星級(jí) | 1 | 測(cè)量對(duì)象 | 半導(dǎo)體 |
| 分類 | 1 | 產(chǎn)地 | 美國 |
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司專業(yè)維修銷售真空泵，分子泵，半導(dǎo)體激光器，流量計(jì)，真空計(jì)，AMAT半導(dǎo)體配件
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631F 1-1000 Torr，加熱（150 或 200°C）絕對(duì) Baratron® 電容壓力計(jì)，在非常高的內(nèi)部溫度下運(yùn)行，通過幾乎消除由污染引起的輸出漂移地減少傳感器內(nèi)過程副產(chǎn)物的沉積。其可用的工作溫度為 150°C 或 200°C，可用于半導(dǎo)體制造中最苛刻的真空工藝，例如金屬蝕刻和氮化膜化學(xué)氣相沉積 (CVD)。
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