| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | AMAT | 型號 | 七星華創(chuàng)PC100-D壓力控制器 |
| 報警方式 | 1 | 尺寸 | 1 |
| 電源電壓 | 1 | 工作溫度 | 1 |
| 類型 | 1 | 重量 | 1 |
| 檢測系統(tǒng) | 1 | 加工定制 | 否 |
| 材質(zhì) | 鋁合金 | 材質(zhì) | |
| 適用星級 | 1 | 測量對象 | 半導(dǎo)體 |
| 分類 | 1 | 產(chǎn)地 | 美國 |
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司專業(yè)維修銷售真空泵，分子泵，半導(dǎo)體激光器，流量計，真空計，AMAT半導(dǎo)體配件
等外延設(shè)備翻新維修
優(yōu)勢
? 基于PTS(Pressure，Temperature，Space)的壓力傳感技術(shù)
? 基于AI的壓力控制技術(shù)
? 全金屬耐腐蝕技術(shù)
? 高準(zhǔn)確度及高可靠性
技術(shù)參數(shù)
|
型號 |
PC100 |
|
壓力類型 |
絕壓 |
|
控制壓力的滿量程 |
1000Torr、1200mbar |
|
耐壓 |
3MPa |
|
閥口滿量程流量 |
2、3、5SLM |
|
控制方式 |
上游 |
|
溫度系數(shù) |
Zero：±0.02% of F.S./℃；Span：±0.04% of Reading/℃ |
|
壓力分辨率 |
0.1 Torr |
|
壓力控制精度 |
±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS) |
|
響應(yīng)時間 |
< 1.0 S |
|
工作溫度范圍 |
10 ℃ ～ 50 ℃ |
|
機械接口 |
雙卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 陽接頭 |
|
閥類型 |
常閉 |
|
外漏 |
< 1 x 10-10(scc/sec He) |
|
內(nèi)漏 |
< 1.0% of 閥口滿量程流量 (閥關(guān)閉時，進氣端為25 psig，出氣端為大氣) |
|
供電電源 |
+15 ～ +24 VDC(< 4 watts) |
|
電氣接口 |
DB-9針 |
原裝進口正品，拍前請聯(lián)系店主，13480966143
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