NS-X25-01 納米定位平臺
納米位移系統(tǒng)專利技術(shù)取得了國家知識產(chǎn)權(quán)局核發(fā)的專利證書，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，該技術(shù)源于美國，在中國生產(chǎn)制造。
納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛，從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種高新技術(shù)行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米(nm)的位移，整個系統(tǒng)包含3部分：納米位移臺、控制器和控制軟件。
納米位移臺是一種機(jī)械裝置，內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。三英設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置高精密傳感器，閉環(huán)控制時，三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。
控制器為納米位移臺提供電源。在閉環(huán)控制時，納米位移臺內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)?？刂破髦芷谛缘奶幚砦灰茢?shù)據(jù)并修正輸出電壓信號，從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。
三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個部件，因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的。三英控制器對外通信方式有多種，最常用的方式是通過BNC模擬信號(-10V~10V)控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實現(xiàn)與控制器的通信。三英控制器內(nèi)部軟件實現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制，內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。如客戶有特殊需求，三英可以對軟件和控制器固件進(jìn)行定制。
