MicroTool EL-3003 電子水準(zhǔn)儀晶圓 EL-1503 EL-5003
品牌：MicroTool
類別：電子水準(zhǔn)儀晶圓
型號(hào)：EL-Series
公司簡(jiǎn)介：
MicroTool的產(chǎn)品通過改進(jìn)關(guān)鍵的晶圓處理操作來提高硅產(chǎn)量和設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間。
我們花了數(shù)年時(shí)間開發(fā)用于測(cè)量和分析機(jī)器人、裝載口和其他工廠自動(dòng)化的設(shè)備。
這些系統(tǒng)將“對(duì)齊藝術(shù)”轉(zhuǎn)化為可重復(fù)和可測(cè)量的科學(xué)。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
在不損壞硅片的情況下設(shè)置和循環(huán)測(cè)試您的設(shè)備。
這種高科技碳纖維復(fù)合材料晶片幾乎堅(jiān)不可摧，按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)直徑、平整度和凹口規(guī)格制造。
碳纖維虛擬晶片也被設(shè)計(jì)為模仿硅片的重量和結(jié)構(gòu)特性。
提供125、150、200、300和450mm SEMI兼容直徑。
還可以定制印刷圖案和機(jī)加工幾何形狀。
碳纖維材料的重量接近硅片的重量。
晶圓周長(zhǎng)和凹口與預(yù)對(duì)準(zhǔn)器兼容。
碳纖維材料幾乎堅(jiān)不可摧。
與真空和邊緣抓握末端執(zhí)行器兼容。
產(chǎn)品介紹：
很快就會(huì)成為您工具箱中使用最多的項(xiàng)目！保留所有你的
設(shè)備與布魯克斯的電子水平晶片“在水平面上”。
與硅片的重量相匹配，這款多功能工具
該設(shè)計(jì)允許在末端執(zhí)行器和晶片處理刀片上使用
以及晶片盒和石英舟。簡(jiǎn)單到
使用顯示器，您可以向地面或您自己的用戶水平
定義的參考平面。直觀的圖形和觸摸屏
簡(jiǎn)化操作，同時(shí)遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)顯示
便于遠(yuǎn)程調(diào)整。
Features:
> 2-Axis electronic level for leveling to
ground or to a learned reference
> Numerical readout for both pitch and
roll allows for statistical analysis and
calibration to specification
> Intuitive graphics screens and touch
screen LCD simplify operation
> Adjustments can be made
conveniently using the remote real
time display
> Carbon fiber wafer mimics the
geometry and weight of a silicon wafer
> New high resolution, high accuracy
electronic level
> New low profile – fits through more slit
valves
> Fast settling time
> Improved software with user setup
capabilities
> Settable tolerances w/ graphical
pass/fail indication
> Data logging allows dynamic studies
and facilitates monitoring equipment
over time
其它相關(guān)型號(hào)：
MicroTool EL-1503 Form Factor：150mm
MicroTool EL-2003 Form Factor：200mm
MicroTool EL-3003 Form Factor：300mm
MicroTool EL-4503 Form Factor：450mm
MicroTool EL-5003 Form Factor：1” X 3” X 3” Block
MicroTool EL-5003-Reticle Form Factor：Reticle
MicroTool LP-3004 300mm Load Port Checker With AMHS Compatibility
MicroTool FG-3000 Loadport Force Gage
