Sensepoint XCD 固定式通用氣體探測器
Sensepoint XCD 氣體探測器是一種固定安裝于存在易燃易爆或有毒氣體場所,用來檢測空氣中可燃性氣體、毒氣及氧氣濃度的儀器。
Sensepoint XCD 的傳感器等核心部件采用多項技術使檢測更長期穩(wěn)定性更好。XCD同一外殼適用催化燃燒、電化學和紅外傳感器,使其可測氣體種類更多、范圍更廣。新增的RTD和RFD型號支持傳感器和變送器遠程安裝,并可支持通用型4-20mA輸出傳感器。因此XCD廣泛適用于石油、化工、冶金、制造業(yè)等通用工業(yè)領域,而且在一些環(huán)境惡劣的環(huán)境同樣表現(xiàn)卓越。
Power FET※2和IGBT※3等半導體絕緣膜的生產(chǎn),常壓CVD生產(chǎn)設備不可或缺。但該生產(chǎn)設備使用SiH4※5、PH3※6、B2H6※7等對人體有害的氣體,所以必須進行排氣處理。OEG的排氣處理設備“KGT-3MM-AP”采用的是濕式處理方式,可以高效處理CVD制膜過程中使用的特殊氣體和粉末。設備內(nèi)部采用特種不銹鋼過濾器,不但提高了有害氣體處理能力,而且結構上不容易發(fā)生堵塞,因此不維修也可以長時間運營。另外,內(nèi)部過濾器采用特殊構造,易于清潔,降低設備維修管理負擔而得到好評。并且,壓力控制微壓計也是為CVD制膜所使用氣體而開發(fā)的,排氣扇變頻控制實現(xiàn)了常壓CVD制膜過程中不可或缺的排氣壓力控制,保證長時間穩(wěn)定運行。
三年前,作為天谷制作所(社長:吉岡獻太郎,總公司:日本埼玉縣越谷市)生產(chǎn)的連續(xù)常壓 CVD生產(chǎn)設備所配備的排氣處理設備,OEG向安森美半導體提供了“KGT-3MM-AP”。該設備連續(xù)作業(yè)無故障保證了CVD膜的穩(wěn)定生產(chǎn),其壓力控制方式和排放有害氣體的處理性能等得到安森美半導體的好評,再次被該公司歐洲工廠采用。采用該設備不僅可以確保其歐洲工廠NSG※8、PSG※9、BPSG ※10等CVD膜的膜層厚度的穩(wěn)定,還促進工廠提高產(chǎn)量,削減排氣處理費用。
可燃氣體、毒氣和氧氣傳感器
變送器配備有2 種工作原理的可燃氣體傳感器:非色散型點式紅外
(NDIR)傳感器和催化燃燒傳感器。
此外,變送器能夠用來測來能夠多種有毒氣體。 采
用電化學工作原理(ECC)檢測有毒氣體和氧氣。
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