普通的壓阻式壓力傳感器其敏感控測(cè)惠斯頓電橋的四個(gè)力敏點(diǎn)阻是用集成電路工藝制造的，電阻間用PN結(jié)相互隔離。由于受到PN結(jié)耐溫限制，最高使用溫度僅125°C，而實(shí)際上由于PN結(jié)反向漏電流隨溫度的指數(shù)上升關(guān)系，在溫度超過(guò)100°C后，傳感器性能已大大劣化，這限制了普通壓阻傳感器的可用溫度范圍。利用厚薄膜技術(shù)制作力敏電阻，可將使用溫度擴(kuò)展至125°C；利用多晶硅SOI技術(shù)制作力敏電阻，可將使用溫度擴(kuò)展至150°C；利用傳統(tǒng)SOS技術(shù)和先
進(jìn)的SOI技術(shù)可將使用溫度擴(kuò)展至180°C—350°C；利用最新的β相高溫力敏材料碳化硅與SOI技術(shù)的結(jié)合，可將使用溫度擴(kuò)展至450°C—850°C，本系列產(chǎn)品是利用德國(guó)HELM公司的國(guó)際先進(jìn)傳感器，配合高精度電子元件，經(jīng)嚴(yán)格的工藝過(guò)程裝配而成。
產(chǎn)品特點(diǎn) 產(chǎn)品用途
◇ 全不銹鋼外殼，卓越的抗腐蝕性能 ◇ 工業(yè)過(guò)程控制
◇ 壓力測(cè)量范圍寬 ◇ 化工
◇ 溫度測(cè)量范圍寬，溫度誤差極小 ◇ 水利
◇ 工作穩(wěn)定 抗干擾能力強(qiáng) ◇ 發(fā)電工程
◇ 可靠性高，雙膜片結(jié)構(gòu) ◇ 熱能工程
◇ 外形尺寸小，重量輕，類型齊全 ◇ 石油勘探
◇ 反相極性過(guò)壓過(guò)流保護(hù)
◇ 測(cè)量介質(zhì)范圍廣 ◇ 國(guó)防科研
性能參數(shù)
測(cè)量范圍
0~10KPa...100MPa
過(guò)載能力
2倍滿量程壓力(其中100MPa的產(chǎn)品過(guò)壓為1.1倍滿量程壓力)
壓力類型
表壓或絕壓或密封參考?jí)毫?/span>
測(cè)量介質(zhì)
與316不銹鋼兼容的氣體或液體
綜合精度
±0.25%FS
±0.5%FS
±1%FS
使用溫區(qū)
-40°C~+150°C
-40°C~+200°C
-55°C~+250°C
-25°C~+350°C
補(bǔ)償溫區(qū)
-20°C~+130°C
-20°C~+180°C
-20°C~+200°C
0°C~+250°C
長(zhǎng)期穩(wěn)定性
典型：±0.1%FS/年
最大：±0.2%FS/年
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