高純氬是一種純度極高的氬氣（Ar），通常純度在99.999%（5N）及以上，廣泛應用于對氣體純度要求嚴格的領域。以下是關于高純氬的詳細介紹：
1. 基本性質
化學符號：Ar
原子序數(shù)：18
狀態(tài)：無色、無味、無毒的惰性氣體。
密度：比空氣重（密度約1.784 g/L，標準條件下）。
沸點：-185.8°C（87.3 K）。
化學惰性：幾乎不與其他物質反應，穩(wěn)定性極強。
2. 純度等級
普通氬氣：純度99.99%（4N），用于一般工業(yè)用途。
高純氬：純度≥99.999%（5N），雜質（如O?、N?、H?O、CO?等）含量極低。
超高純氬：純度≥99.9999%（6N），用于半導體、精密分析等。
3. 生產(chǎn)方法
空氣分離法：通過低溫精餾液態(tài)空氣提取氬氣，再經(jīng)吸附、催化脫氧等工藝提純。
純化技術：采用分子篩、鈀催化劑、低溫吸附等方法進一步去除雜質。
4. 主要應用領域
半導體制造：用于晶圓加工、刻蝕、化學氣相沉積（CVD）等，防止材料氧化。
光伏產(chǎn)業(yè)：硅片生產(chǎn)中的保護氣。
分析儀器：作為ICP-MS（電感耦合等離子體質譜）、GC（氣相色譜）的載氣。
焊接保護：TIG焊、MIG焊中防止金屬熔池氧化（尤其不銹鋼、鋁合金）。
照明工業(yè)：填充節(jié)能燈、霓虹燈等。
科研領域：超導體研究、激光技術等。
5. 儲存與運輸
儲存方式：高壓鋼瓶（通常為灰色，標有“氬氣”字樣），常溫下保存。
運輸規(guī)范：需符合危險化學品運輸標準，避免撞擊、高溫。
6. 安全注意事項
窒息風險：高濃度氬氣會置換空氣，導致缺氧，需在通風環(huán)境中使用。
壓力風險：高壓鋼瓶需防泄漏，避免直接接觸閥門。
惰性特性：雖不燃不爆，但可能加劇其他物質的燃燒（如鎂、鈦等）。
