OTFC- 1550光馳機(年份:2015. 11）包上門安裝培訓(xùn)，公司還有各種先進濺射和蒸鍍機，承接各種高性能中長波紅外光學(xué)窗口、各波段濾光片、各種光電子元器件產(chǎn)品以及定制化服務(wù)
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM
工件架：Ф1400
工件架轉(zhuǎn)速：10rpm to 30rpm (可變)
光學(xué)膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A
光學(xué)膜厚監(jiān)控儀：波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚計：XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發(fā)源：2套日本電子16P雙槍
離子源：17寸光馳RF離子源
排氣系統(tǒng)：機械泵2個，擴散泵Polycold (或2個冷凝泵)275機械泵+愛德華配套羅茨泵
性能
達到壓力：7. 0X10-5Pa以下
排氣時間：20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa)
基板溫度：高: 350C
工作條件
設(shè)備尺寸：藥500m00) x 7200m(D)X53700mm
電源：3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA
水流量：180升/分以上
空氣壓力：0.5MPa以上
重量：約11000kg
詳情 楊總監(jiān) 13723521401 18103045976
