一，機械用途
用于生產(chǎn)IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長波通、短波通和多種電學薄膜
二，機械優(yōu)點
采用箱式結構，真空系統(tǒng)后置，便于操作和維修；整機表面平整，方便清潔，特別適合放置在凈化間內(nèi)做穿墻式安裝。
銷售技術楊經(jīng)理：181-030-45976
三：特征
真空室尺寸：Φ600-1800mm60點/80點式光學膜厚監(jiān)控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源搭載雙電子槍，多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程工件架可選擇鐘罩式或行星式排氣系統(tǒng)可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵規(guī)格設備名稱
四：規(guī)格
OTFC-1300CBI/DBI真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)工件架φ1130mm工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 50rpm(可變)光學膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式/透射式水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器蒸發(fā)源電子槍2套離子源17cmRF離子源排氣系統(tǒng)機械泵+2個擴散泵+Polycold（或2個冷凝泵）
五：性能
達到壓力7.0×10-5 Pa 以下排氣時間15分（大氣壓～1.3×10-3 Pa)基板溫度：350℃工作條件設備尺寸約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)電源3相,200v,50/60Hz, 約104KVA水流量140升/分以上空氣壓力0.5MPa以上重量約8500kg
庫存明細：
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品牌 |
型號 |
數(shù)量 |
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光弛 |
1550 |
2臺 |
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1300 |
2臺 |
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韓國韓一 |
2050 |
3臺 |
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1600 |
2臺 |
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1200 |
1臺 |
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2700 |
1臺 |
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韓國聯(lián)合 |
2050/1300 |
2臺 |
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韓一磁控濺射 |
1600 |
1臺 |
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臺灣龍翩 |
1800 |
2臺 |
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臺灣PEVA |
900 |
2臺 |
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德國萊寶 |
1100/1510 |
2臺 |
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日本多弧鍍膜機 |
1300 |
1臺 |
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南光 |
1100/1300 |
4臺 |
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日本昭和 |
500/900 |
5臺 |
