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產(chǎn)品簡介

晶圓激光刻號機

產(chǎn)品價格：￥

上架日期：2023-04-07 08:47:50

產(chǎn)地：上海奉賢區(qū)

發(fā)貨地：上海奉賢區(qū)

供應(yīng)數(shù)量：不限

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詳細說明

晶圓刻號打碼機

產(chǎn)品介紹
是專業(yè)化的晶圓激光刻號打碼專用設(shè)備，適用于2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)。
支持OCR字符和點陣字符，
適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。
全自動生產(chǎn) 可加工2〞- 6〞、4〞- 8〞、8〞- 12〞晶圓
工業(yè)級激光器，穩(wěn)定可靠，免維護
光束質(zhì)量好，標(biāo)識精細，可讀性好
操作界面友好，使用方便，
無需外接水冷機

應(yīng)用范圍：

2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)
適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號、打碼。

技術(shù)規(guī)格項目單位數(shù)值

最大加工尺寸晶圓尺寸 inch 6英寸
激光器功率激光器出口處 w 20瓦
激光器波長紅外光纖激光器 nm 1064納米
定位精度 mm 0.05毫米
重復(fù)精度 mm 0.02毫米
振鏡最大掃描速度 mm/s 7000毫米/秒
振鏡類型數(shù)字/模擬高速數(shù)字式振鏡
最大負載 Kg 1.5千克
協(xié)作機械手最大臂長 mm 400毫米
重復(fù)精度 mm 正負0.03毫米
Z向行程 mm 210微米
電源 AC 兩相220~240V 50HZ
最大耗電量 Kw 1.5千瓦
單獨接地電阻 Ω 小于4歐
共用接地電阻 Ω 小于1歐
壓縮空氣供給壓力 MPa 0.5~0.8兆帕
廠務(wù)真空供給 Kpa -0.6千帕
其他規(guī)格排風(fēng)口口徑 mm 50毫米

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