儀器型號
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VMS6040CNC
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工作臺
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X、Y軸行程（mm）
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600*400
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Z軸行程（mm）
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200調(diào)焦及輔助測量
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工作臺尺寸（mm）
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760*560
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玻璃臺面尺寸（mm）
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450*650
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傳動型式
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X、Y、Z軸均采用馬達驅(qū)動滾珠絲桿傳動的型式
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數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)
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光學尺解析度：X、Y、Z軸0.0005mm 電腦自動采樣
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專業(yè)軟件進行資料分析處理 X、Y坐標示值誤差：≤（3+L/200）um
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影像瞄準系統(tǒng)
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高解析度CCD彩色攝像機
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0.7~4.5X變焦鏡頭，總視頻放大倍率為30~190X，配2X物鏡時，總視頻放大倍率可達380X
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照明系統(tǒng)
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連續(xù)可調(diào)式LED環(huán)形表面光及輪廓光，根據(jù)放大倍率確定最大光強
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X、Y軸馬達運動速度
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<120mm/s
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Z軸馬達運動速度
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<60mm/s
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馬達運動步長
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0.4mm/步
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馬達分辨率
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1000步/轉(zhuǎn)
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儀器外形尺寸（L*W*H）
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1840*960*1867
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儀器重量（kg）
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800
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